具有大孔径和平面端面的投影物镜

摘要

一种适合于微光刻投影曝光机的投影物镜，其用于将该投影物镜的物平面(OP)中提供的图案成像到该投影物镜的像平面(IP)上，其具有多个光学元件，其对于该投影物镜的工作波长处的辐射是透明的。至少一个光学元件(LOE1，LOE2)是由在工作波长处折射率n≥1.6的高折射率材料制成的高折射率光学元件。

主权项

适合于微光刻投影曝光机的投影物镜，其用于将该投影物镜的物平面中提供的图案成像到该投影物镜的像平面上，该投影物镜包括：多个光学元件，所述光学元件对于在该投影物镜的工作波长处的辐射是透明的；其中该投影物镜具有最接近像平面的最后一个光学元件；其中该最后一个光学元件包括平凸复合透镜，该平凸复合透镜具有像方平凸第二透镜元件和物方第一透镜元件，所述像方平凸第二透镜元件具有弯曲的入射表面和基本上是平面的出射表面，所述物方第一透镜元件具有弯曲的入射表面和与所述第一透镜元件的弯曲的入射表面光学接触的弯曲的出射表面，其中第一透镜元件和第二透镜元件中的至少一个由折射率为n＞1.6的高折射率材料构成。