气刀装置

摘要

本发明提供一种通过向平板显示元件用基板喷射干燥用空气的方式可容易地对所述基板进行干燥的气刀装置。所述气刀装置包括：主体，其内部设置有空气流入口；第一腔室，其设置在所述主体内侧，并接收由所述空气流入口供给的干燥用空气；第二腔室，其与第一腔室之间设有所述空气流入口，从而与第一腔室相隔配置；吐出单元，其包括用于向外部喷射所述第一腔室和第二腔室内干燥用空气的第一吐出口和第二吐出口；以及流量控制机构，其用于控制从所述空气流入口供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的供给量。

主权项

一种气刀装置，其特征在于，包括：主体，其内部设置有空气流入口；第一腔室，其设置在所述主体内侧，并接收由所述空气流入口供给的干燥用空气；第二腔室，其与第一腔室之间设有所述空气流入口，从而与第一腔室相隔配置；吐出单元，其包括用于向外部喷射所述第一腔室和第二腔室内干燥用空气的第一吐出口和第二吐出口；以及流量控制机构，其用于控制从所述空气流入口供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的供给量，所述流量控制机构包括流量分配器和驱动器，所述流量分配器位于所述空气流入口内侧，并具有用于分配供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的调整单元，所述驱动器用于驱动所述流量分配器，从而通过所述调整单元来调整干燥用空气的分配量。