基于数字微镜光源的并行共焦测量系统及测量方法

摘要

本发明基于数字微镜光源的并行共焦测量系统及测量方法，其特征是设置以DMD微镜控制系统和DMD芯片构成的、可以控制DMD芯片中任一微镜的偏转的DMD系统；准直光源发出的光束在所述DMD系统中形成反射，由DMD系统形成的反射光经过成像透镜形成测量所需的光源，测量所需的光源依次经过分光镜和望远镜系统投照在工作台上的被测物表面，由被测物将投照在其表面的光束反射至面阵CCD，构成并行共焦测量系统。本发明利用DMD构建了一种柔性的数字微镜光源，并将其应用于并行共焦测量系统，可以按照需要，方便、快捷地控制微镜阵列中每个微镜的偏转状态，从而构建出不同形状、任意大小的柔性光源。

主权项

基于数字微镜光源的并行共焦测量系统，其特征是：设置以DMD微镜控制系统和DMD芯片构成的、可以控制DMD芯片中任一微镜的偏转的DMD系统(2)；准直光源(1)发出的光束在所述DMD系统(2)中形成反射，由所述DMD系统(2)形成的反射光经过成像透镜(3)形成测量所需的光源，所述测量所需的光源依次经过分光镜(4)和望远镜系统(5)投照在工作台(6)上的被测物表面，由所述被测物将投照在其表面的光束反射至面阵CCD(7)，构成并行共焦测量系统。