微纳米流体系统及其制备方法

摘要

本发明公开了一种制备微纳米流体系统的方法。该方法，包括如下步骤：1)在基底上制备薄膜热电偶阵列，得到薄膜热电偶阵列层；2)在所述步骤1)制备得到的薄膜热电偶阵列层上制备一层绝缘层a，并在所述绝缘层之上制备一层场调制层；3)在所述步骤2)制备得到的场调制层上制备一层绝缘层b，并将所述绝缘层b上制备一层微纳米通道层，封装后得到所述微纳米流体系统。本发明制作的微纳米流体测试系统带有局域温度测量与控制、可进行直流及高频电磁测量。该系统功能多样、结构紧凑且测试精度高，在物理、化学、生物等研究领域都有很好的应用前景。

主权项

一种微纳米流体系统，由上至下依次为保护层、微纳米通道层、绝缘层b、场调制层、绝缘层a、薄膜热电偶阵列层和基底。