发明名称 |
一种光刻机的调平系统 |
摘要 |
本发明是一种光刻机的调平系统,该系统用于接近接触式光刻机中实现样片与掩模版的调平。该系统以掩模夹和掩模版为水平基准,利用升降驱动机构带动三点弹性支撑机构、球碗气浮机构、承片台及样片上升,与基准掩模版贴紧后,通过气动及控制机构锁定球碗气浮机构及三点弹性支撑机构,同时升降驱动机构停止上升运动,即可实现并保持样片与掩模版的平行。该系统能自动完成样片与掩模版实现调平的有效途径,并有效地解决了其他常用调平机构中存在的结构复杂、操作繁琐以及调平精度低等技术问题。 |
申请公布号 |
CN102012646A |
申请公布日期 |
2011.04.13 |
申请号 |
CN201010518350.9 |
申请日期 |
2010.10.20 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
马平;胡松;杨春利 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
梁爱荣 |
主权项 |
用于接近接触式光刻机的调平系统,其特征在于包括掩模夹(101)、掩模版(102)、样片(103)、承片台(104)、球碗气浮机构(105)、柔性铰链(106)、三点弹性支撑机构(107)、气缸(108)、升降驱动机构(109)、正压输入端(110)、负压输入端(111)、电控阀门(112)、驱动控制电路板(113)、主控制器(114)和限位机构(115);其中:掩模夹(101)位于掩模版(102)上方并固接,掩模版(102)位于样片(103)上方并固接,样片(103)位于承片台(104)上方并固接;承片台(104)位于球碗气浮机构(105)上方;三点弹性支撑机构(107)与球碗气浮机构(105)通过柔性铰链(106)连接;气缸(108)与升降驱动机构(109)连接;升降驱动机构(109)的输入端与驱动控制电路板(113)输出端连接;两个电控阀门(112)的输入端分别与正压输入端(110)和负压输入端(111)连接;驱动控制电路板(113)的一输入端与两个电控阀门(112)的输出端连接;驱动控制电路板(113)的另一输入输与主控制器(114)的输出端连接;限位机构(115)的两端分别与承片台(104)和柔性铰链(106)连接;升降驱动机构(109)带动三点弹性支撑机构(107)、球碗气浮机构(105)、承片台(104)及样片(103)上升运动;通过电控阀门(112)控制气缸(108)连通正压输入端(110)的正压实现锁定三点弹性支撑机构(107);通过电控阀门(112)控制气缸(108)断开正压输入端(110)的正压实现松开三点弹性支撑机构(107);通过电控阀门(112)连通负压输入端(111)的负压实现锁定球碗气浮机构(105);通过电控阀门(112)连通正压输入端(110)的正压实现气浮球碗气浮机构(105);主控制器(114)接收由限位机构(115)发送的调平完成信号后锁定球碗气浮机构(105)及三点弹性支撑机构(107),同时停止升降驱动机构(109)上升运动。 |
地址 |
610209 四川省成都市双流350信箱 |