洛伦兹磁致电阻传感器及制造方法

摘要

本发明公开了一种具有极小引线宽度和引线间隔的洛伦兹磁致电阻传感器及制造方法。该传感器可以通过新型制造方法制造，该方法允许以如下方式淀积引线，使得引线宽度和引线间的间隔由引线层和引线间电绝缘间隔层的淀积厚度决定，而不是由光刻决定。因为引线厚度和引线间隔不是由光刻决定的，所以引线厚度和引线间隔不受光刻分辨极限的限制。

主权项

一种洛伦兹磁致电阻传感器，包括：具有第一和第二侧并具有气垫面的磁有源结构；与所述磁有源结构的第二侧电连接的多根导电引线，每根所述导电引线包括沿垂直于所述气垫面取向的平面形成的导电材料层。