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经营范围
发明名称
Projection objectives having mirror elements with reflective coatings
摘要
申请公布号
EP1930772(B1)
申请公布日期
2011.04.13
申请号
EP20070023396
申请日期
2007.12.04
申请人
CARL ZEISS SMT GMBH
发明人
CHAN, DANNY DR.;MANN, HANS-JUERGEN DR.
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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