| 发明名称 | 正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜和绝缘膜以及使用它们的半导体装置和显示装置 | ||
| 摘要 | 一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性树脂(A)、感光剂(B)和通式(1)所示的硅化合物(C)。式(1)中，R1是碳原子数为5～30的亚烷基或至少具有一个以上的芳香环的有机基，R2是碳原子数为1～10的烷基。基于本发明，能够提供一种显影工序后的涂膜粘附性优良以及湿度处理后的固化膜与基板之间的粘附性优良，并且保存稳定性优良的正型感光性树脂组合物。(R2O)3-Si-R1-Si-(OR2)3 (1)。 | ||
| 申请公布号 | CN102016718A | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200980116236.9 | 申请日期 | 2009.04.28 |
| 申请人 | 住友电木株式会社 | 发明人 | 杉山広道;高桥泰典 |
| 分类号 | G03F7/075(2006.01)I;C08G69/26(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/075(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 菅兴成;吴小瑛 |
| 主权项 | 一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性树脂(A)、感光剂(B)和通式(1)所示的硅化合物(C)，(R2O)3‑Si‑R1‑Si‑(OR2)3 (1)式(1)中，R1是碳原子数为5～30的亚烷基或至少具有一个以上的芳香环的有机基，R2是碳原子数为1～10的烷基。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||