抗蚀剂组合物

摘要

一种抗蚀剂组合物，它包含(A)氢倍半硅氧烷树脂，(B)含酸可解离的基团的化合物，(C)光致产酸剂，(D)有机溶剂，和任选地(E)添加剂。该抗蚀剂组合物具有适合于作为光致抗蚀剂的改进的平版印刷性能(例如高的抗蚀性、透光度、分辨率、灵敏度、聚焦高度、线边缘粗糙度和粘合性)。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，它包含(A)100重量份平均分子量为500-1,000,000的氢倍半硅氧烷树脂，(B)5-70重量份含酸可解离基团的化合物，(C)基于100份(B)0.1-8重量份光致产酸剂，和(D)基于组合物的重量为10-95wt％的有机溶剂；其中氢倍半硅氧烷树脂的通式为(HSi(OH)O_2/2)_w(HSi(OR¹)O_2/2)_x(HSiO_3/2)_y(SiO_4/2)_z，其中R¹是直链或支链的C₁-C₆烷基或烷氧基；w＝0-0.1，x＝0-0.1，y＝0.7-1，z＝0-0.1，和w+x+y+z≈1；其中在(B)内的酸可解离基团的通式为：其中每一R³为亚烷基，R⁴是直链或支链亚烷基、亚环烷基、氟代亚烷基或芳基；L选自具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基，具有2-20个碳原子的氟代亚烷基，取代和未取代的亚芳基，取代和未取代的亚环烷基，和取代和未取代的亚烷芳基；R⁵是氢、直链或支链烷基或氟代烷基；R⁶是烷基或氟代烷基；Z是酸可解离基团；g的数值是0或1；h的数值是0或1；和k的数值是0或1。