沉积舟

摘要

沉积舟涉及LTO膜加工专用的沉积舟。既能保证气体进入舟体中，又能提高舟体强度的。包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖，所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。本实用新型将以往长方形的槽该为圆形的通气孔，这样即保证了LTO膜厚的均匀度，也由于在舟上开孔的面积相对减少而提高了舟强度，进而提高了其的使用寿命。

主权项

沉积舟，包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖，其特征在于，所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。