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发明名称
AN ACID CORROSION SOLUTION FOR PREPARING POLYSILICON SUEDE AND THE APPLIED METHOD OF IT
摘要
申请公布号
KR101028000(B1)
申请公布日期
2011.04.13
申请号
KR20087025607
申请日期
2006.05.24
申请人
发明人
分类号
C09K13/08;H01L21/306
主分类号
C09K13/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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