| 发明名称 | 一种高精度调整工装及其调整方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高精度调整工装及其调整方法，解决了传统工装定位自由度少和定位灵活度差的问题。所述高精度调整工装包括定位座，悬臂，支撑板，直角连接块，竖直定位移动机构和竖直定位调平机构，水平定位移动机构和水平定位调平机构；所述定位座安装在悬臂上端，所述支撑板安装在悬臂下端，所述竖直定位调平机构安装在支撑板上，所述竖直定位移动机构安装在竖直定位调平机构上，所述水平定位移动机构安装在水平定位调平机构上，所述水平定位调平机构和竖直定位移动机构上分别安装在直角连接块的两个平面上。调整竖直定位移动机构、竖直定位调平机构、水平定位移动机构和水平定位调平机构可实现工装五个自由度高精度的定位。 | ||
| 申请公布号 | CN101169976B | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200710047235.6 | 申请日期 | 2007.10.19 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 吴荣基;袁志扬;陈慧 |
| 分类号 | G12B5/00(2006.01)I | 主分类号 | G12B5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种高精度调整工装，其特征在于：它包括定位座(1)，悬臂(4)，支撑板(6)，直角连接块(15)，竖直定位移动机构和竖直定位调平机构，水平定位移动机构和水平定位调平机构；所述直角连接块(15)具有水平连接面(152)和竖直连接面(151)；所述定位座(1)安装在悬臂(4)上端，所述支撑板(6)安装在悬臂(4)下端，所述竖直定位调平机构安装在支撑板(6)上，所述竖直定位移动机构安装在竖直定位调平机构上，所述水平定位移动机构安装在水平定位调平机构上，所述水平定位调平机构和竖直定位移动机构分别安装在直角连接块(15)的水平连接面(152)和竖直连接面(151)上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||