控制研磨厚度的研磨装置

摘要

本发明公开一种控制研磨厚度的研磨装置，其包括一固定盘，具有相对的一第一侧及一第二侧；一被研磨物，被固定于固定盘的第一侧；一研磨盘，设置于面向固定盘的第一侧，用来研磨被研磨物；一马达，连接研磨盘，用来转动研磨盘；一汽缸，连接于固定盘，以调整固定盘与研磨盘的间距；一固定座，设置于该固定盘的第二侧；一感应器，设置于固定座上，用来依据固定盘的位移产生多笔研磨厚度数据；一处理单元，接收研磨厚度数据，输出一控制信号至马达。其中，马达依据控制信号控制研磨盘的转动速度。

主权项

一种控制研磨厚度的研磨装置，其包含：固定盘，具有相对的第一侧及第二侧；被研磨物，被固定于该固定盘的第一侧；研磨盘，设置于面向该固定盘的第一侧，用来研磨该被研磨物；马达，连接该研磨盘，用来转动该研磨盘；汽缸，连接于该固定盘，在研磨该被研磨物时，使该固定盘产生位移，以调整该固定盘与该研磨盘的间距；固定座，设置于该固定盘的第二侧；感应器，设置于该固定座上，用来依据该固定盘的位移产生多笔研磨厚度数据；以及处理单元，接收该研磨厚度数据，并依该研磨厚度数据，输出控制信号至该马达；其中，该马达依据该控制信号控制该研磨盘的转动速度；其中该汽缸包含突出端，该感应器用来在该固定盘产生该位移时，依据该突出端与该感应器之间的距离产生这些研磨厚度数据。