发明名称 | 一种制造三维微结构的方法 | ||
摘要 | 揭示了按照三维阵列沉积多个微滴的系统和方法。该阵列可以包括:第一类微滴,设置它们是为了形成支撑结构;以及第二类微滴,用于在支撑结构上形成导电晶种层。结构材料可以被电沉积到晶种层上以产生三维结构。 | ||
申请公布号 | CN101336466B | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
申请号 | CN200680051827.9 | 申请日期 | 2006.12.19 |
申请人 | 佛姆法克特股份有限公司 | 发明人 | G·L·马修;T·方;E·D·霍博斯 |
分类号 | H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 脱颖 |
主权项 | 一种制造三维结构的方法,该方法包括:按三维阵列来沉积多个微滴,该阵列包括被设置用于形成支撑结构的第一类微滴以及用于在支撑结构上形成导电晶种层的第二类微滴;以及将结构材料电沉积到晶种层上;其中,所述第一类微滴可溶解于第一溶剂,而所述第二类微滴可溶解于第一溶剂或第二溶剂。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |