真空阀驱动器

摘要

本发明提供了一种真空阀驱动器。该驱动器使阀关闭件沿调整轴线在真空阀的打开位置与真空阀被气密关闭的位置之间线性移位。还提供了一种包括该真空阀驱动器的真空阀。真空阀驱动器包括：包含气密工作空间的驱动器壳体；工作空间内的活塞，该活塞将工作空间分成第一和第二压力空间；以及至少一个连杆，该连杆以气密的方式从工作空间引导到阀关闭件。根据本发明，提供了在工作空间内平行于调整轴线居中延伸并被引导穿过活塞的静态导向杆以及位于活塞与导向杆之间的精密线性轴承。通过导向杆，活塞在工作空间中被居中地高精度线性引导，从而使接合至活塞的阀关闭件以高精度运动并被压在阀座上，以此避免了金属摩擦所引起的任何颗粒生成。

主权项

一种真空阀驱动器(1)，该真空阀驱动器(1)用于使阀关闭件(2)沿着调整轴线(3)在真空阀(4)的打开位置(A)与该真空阀被气密关闭的位置(B)之间线性移位，该真空阀驱动器包括：·包含基本气密的工作空间(6)的驱动器壳体(5)；·活塞(7)，该活塞(7)可在所述工作空间(6)内沿着所述调整轴线(3)移位，并且以这样的方式布置，即，使该活塞(7)将所述工作空间(6)分成第一压力空间(6a)和第二压力空间(6b)，所述压力空间(6a，6b)被所述活塞(7)以基本气密的方式分开；·用于沿着所述调整轴线(3)线性引导所述活塞(7)的装置；·至少一个连杆(8；9)，所述连杆平行于所述调整轴线延伸并固定至所述活塞(7)，并且被以气密的方式从所述工作空间(6)导入所述驱动器壳体(5)的外部区域而到达所述阀关闭件(2)；·所述驱动器壳体(5)的第一连接部(10a)，该第一连接部(10a)通向所述第一压力空间(6a)，并且通过该第一连接部(10)可向所述第一压力空间(6a)施加气体压力；·所述驱动器壳体(5)中的第二连接部(10b)，该第二连接部(10b)通向所述第二压力空间(6b)，并且通过该第二连接部(10b)可向所述第二压力空间(6b)施加气体压力，从而布置在所述至少一个连杆(8；9)上的所述阀关闭件(2)可通过在所述第一压力空间(6a)与所述第二压力空间(6b)之间产生的气体压力差而在所述打开位置(A)与所述关闭位置(B)之间运动；所述真空阀驱动器的特征在于，用于线性引导所述活塞(7)的装置采取以下形式：·至少一个静态导向杆(11)，该导向杆(11)连接到所述驱动器壳体(5)并且在所述工作空间(6)内平行于所述调整轴线(3)延伸，并以基本气密的方式引导穿过所述活塞(7)；以及·至少一个精密线性轴承(12)，该精密线性轴承(12)位于所述活塞(7)与所述导向杆(11)之间。