双扭杆谐振扫描反射镜

摘要

双扭杆谐振扫描反射镜，包含：扫描反射镜组件：包含有两根扭转杆和反射镜镜身，在接受与扫描反射镜机械谐振频率相同的周期力激励下产生与激励力幅度对应的绕两杆连线的往复振动；支撑系统：由基板和支臂组成，为扫描反射镜组件提供必要的支撑和约束；驱动系统：由永磁体和驱动线圈构成，用来无接触驱动扫描反射镜组件振动；位置反馈系统：由位置传感器及反馈信号处理电路组成，用来高灵敏度和噪声抑制性地获取与扫描反射镜组件的振幅成比例的位置反馈信号；闭环控制系统：由驱动系统、位置反馈系统、驱动信号产生电路组成，用来控制扫描反射镜组件的稳定振动；本发明的双扭杆谐振扫描反射镜可以实现大口径高频率光束扫描。

主权项

双扭杆谐振扫描反射镜，其特征在于：包含以下组成部分：A扫描反射镜组件(1)，包含有两根扭转杆(13A，13B)和反射镜镜身(40)，在与扫描反射镜机械谐振频率相同的周期力激励下产生与激励力幅度对应的绕两杆连线的往复振动；所述的扫描反射镜组件(1)中，两根扭转杆(13A，13B)在反射镜镜身(40)两边对称分布，两根扭转杆(13A，13B)的连线通过反射镜镜身(40)的对称中心；B支撑系统，由基板(5)和支臂(9A，9B)组成，为扫描反射镜组件(1)提供必要的支撑和约束；C驱动系统(41)，由永磁体(21A、21B)和驱动线圈(2A，2B)构成，用来驱动扫描反射镜组件(1)振动；D位置反馈系统(42)，由压电位置传感器(20A、20B)及反馈信号处理电路(24)组成，用来获取与扫描反射镜组件(1)的振幅成比例的位置反馈信号；F闭环控制系统，由驱动系统(41)、位置反馈系统(42)、驱动信号产生电路(23)组成，用来控制扫描反射镜组件(1)的稳定振动；所述的位置反馈系统(42)中，压电位置传感器(20A、20B)利用压电晶体的压电特性和谐振机械系统加速度曲线与位置曲线具有相同形式的特点获取扫描反射镜的角位置，两个压电位置传感器对(20A、20B)在扫描反射镜镜身(40)上，在旋转轴(35)的两侧对称安装，形成差分信号源对。