切削工具用多层硬膜

摘要

本发明涉及一种切削工具用多层硬膜，提供一种在切削工具上区分组成比与膜结构各不同的基层、中间层、顶层连续沉积，从而可以降低在高速切削加工时所发生的剥离以及工具磨损现象的切削工具用多层硬膜。

主权项

一种切削工具用多层硬膜，基层通过物理汽相沉积法沉积在硬质合金的刀片、立铣刀、钻头或者金属陶瓷刀片上，以提高紧贴力以及面(200)的晶体取向；中间层为(Ti、Al)N多层膜，随后被沉积，以提高耐冲击性以及耐剥落性；然后顶层通过交替堆叠A层、B层、C层以及D层而形成，其中：[组成式1]：A、C层的膜组成比[Ti(1‑x)Alx][C(1‑y)Ny]，0.3≤x≤0.5，0.5≤y≤1，[组成式2]：B层的膜组成比[Ti(1‑q)Alq][C(1‑r)Nr]，0.6≤q≤0.8，0.5≤r≤1，[组成式3]：D层的膜组成比[Al(1‑(a+b))TiaMb]N；M[Si，Cr]0.3≤a≤0.5，0.02≤b≤0.08，所述基层的膜组成由组成式1实现；中间层的膜结构是多层膜，该多层膜是通过交替沉积组成式1、2所实现的A层/B层/C层而形成；顶层的膜结构通过以A/B/C/D层或者A/D/C/B层的顺序交替堆叠组成式1、2、3所实现且具有不同的组成比的A层、B层、C层而形成。