用于微结构蚀刻的改进方法和设备

摘要

一种提供用于蚀刻位于处理室内的一个或多个微结构的蚀刻气体源的设备和方法。该设备具有连接到气体源的气体源供应线和用于容纳蚀刻材料的一个或多个室。在应用中，在一个或多个室内将蚀刻材料转换为蚀刻材料蒸气，并且气体供应线向蚀刻材料蒸气提供载气的供应并还将由载气传送的蚀刻材料蒸气提供给处理室。有利的是，本发明的设备不需要为了获得连续的蚀刻气体流而包括任何膨胀室或其它复杂的机械部件。

主权项

一种蚀刻位于处理室内的一个或多个微结构的方法，该方法包括下述步骤：a)将蚀刻材料从第一状态转换为蚀刻材料蒸气；b)采用载气来传输所述蚀刻材料蒸气且此后将所述蚀刻材料蒸气提供给所述处理室；以及c)通过控制所述处理室的真空抽气速率来控制所述处理室内的蚀刻材料的量，其中该方法还包括下述附加步骤：d)阻止载气的供应；e)采用真空泵来将所述蚀刻材料抽到所述处理室；以及f)测量所述处理室中的压力；其中测量所述处理室中的压力提供确定气源室中的蚀刻材料的量的手段。