发明名称 制备导电材料的方法及包括导电材料的器件
摘要 公开了用于在基板上沉积导电材料的工艺,包括:燃烧预混合的燃料和氧化剂以形成贴着移动的物体或基板的滞止火焰,该移动的物体或基板稳定滞止火焰;以及将至少一种前体引入到火焰以在基板上形成导电材料。
申请公布号 CN102016117A 申请公布日期 2011.04.13
申请号 CN200980114008.8 申请日期 2009.03.16
申请人 蒂肖有限公司 发明人 王海;丹尼斯·J·法理斯
分类号 C23C16/453(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;F23D14/00(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I 主分类号 C23C16/453(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 梁晓广;关兆辉
主权项 一种在基板上形成导电材料的工艺,所述工艺包括:燃烧预混合的燃料和氧化剂以贴着基板形成滞止火焰来稳定所述滞止火焰;以及将至少一种前体引入到火焰,以在所述基板上形成导电材料。
地址 美国加利福尼亚州