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发明名称 Downstream plasma treatment device
摘要
申请公布号 EP1625605(B1) 申请公布日期 2011.04.13
申请号 EP20040752976 申请日期 2004.05.21
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BECKNELL, ALAN;BUCKLEY, THOMAS;FERRIS, DAVID;PINGREE, RICHARD, JR.;SAKTHIVEL, PALANIKUMARAN;SRIVASTAVA, ASEEM;WALDFRIED, CARLO
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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