STICTION MITIGATION WITH INTEGRATED MECH MICRO-CANTILEVERS THROUGH VERTICAL STRESS GRADIENT CONTROL,申请号KR20117002811-传众专利搜索

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发明名称	STICTION MITIGATION WITH INTEGRATED MECH MICRO-CANTILEVERS THROUGH VERTICAL STRESS GRADIENT CONTROL
摘要
申请公布号	KR20110038126(A)	申请公布日期	2011.04.13
申请号	KR20117002811	申请日期	2009.07.09
申请人	QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.	发明人	TUNG YEH JIUN
分类号	G02B26/08;B81B3/00	主分类号	G02B26/08
代理机构		代理人
主权项
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