| 发明名称 | 加热装置、膜形成装置及膜形成方法和元件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可在玻璃基板上高效地形成膜的加热装置及具有此加热装置的膜形成装置。此膜形成装置具有对支撑台(26)上所载置的玻璃基板(24)的表面(25)垂直地喷吹比此玻璃基板的软化点温度高的高温气体的加热装置，且对所述玻璃基板的表面与高温气体一起同时喷吹热解而产生膜沉积的沉积用气体(43)。 | ||
| 申请公布号 | CN102017084A | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200980115755.3 | 申请日期 | 2009.04.28 |
| 申请人 | 株式会社菲尔科技 | 发明人 | 古村雄二;西原晋治;村直美 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;C23C16/452(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人 | 刘云贵;雒纯丹 |
| 主权项 | 一种加热装置，其特征在于：对支撑台上所载置的玻璃基板的表面垂直地喷吹比此玻璃基板的软化点温度高的高温气体。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||