| 发明名称 | 磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。它包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。 | ||
| 申请公布号 | CN201793816U | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN201020548333.5 | 申请日期 | 2010.09.29 |
| 申请人 | 常州天合光能有限公司 | 发明人 | 何伟 |
| 分类号 | C30B33/04(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 王凌霄 |
| 主权项 | 一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，其特征是：所述的进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管(1)和下进气管(2)，上进气管(1)和下进气管(2)分别位于炉管(3)的上部和下部，上进气管(1)和下进气管(2)上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。 | ||
| 地址 | 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 | ||