| 发明名称 |
Verfahren zum Aufbringen von Siliziumkarbid auf Teile einer Siliziumoberfläche |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH482029(A) |
申请公布日期 |
1969.11.30 |
| 申请号 |
CH19660005136 |
申请日期 |
1966.04.07 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
JAMES HAGA,LEIGH;NEIL TUCKER,THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/04;H01L21/314;(IPC1-7):C23C11/08;C23C7/00;H01L7/34 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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