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一种自液态氯化矽烷移除氯化铝及其他部分可溶金属氯化物的方法，其包含以下步骤：凝结含有得自于矽制造过程的氯化矽烷之流出气体，以形成包含气体与液态氯化矽烷不纯溶液之物流，其中该液态氯化矽烷之不纯溶液包含不纯物，该不纯物系指溶解及悬浮之氯化铝及其他部分溶解的金属氯化物，提供处理容器，该处理容器底部具有一可含液体之空腔，于该可含液体之空腔提供搅拌器，将固体晶种材料及该物流引入至该处理容器中，自该处理容器移除该物流之气体，以及于该可含液体之空腔中收集该物流中之晶种材料与液态氯化矽烷的不纯溶液，将该固体晶种材料与液态氯化矽烷的不纯溶液，在可使铝及金属氯化物层可沈积于该固体晶种材料上且可形成浆液的条件下，于该可含液体之空腔中混合，将该浆液转移入固体移除容器中，于其中产生具有高固体含量液体的第一物流及具有降低固体含量液态溶液的第二物流；将该具有降低固体含量液态溶液的第二物流转移至另一处理过程或容器中，且将该具有高固体含量液体的第一物流转移入废物储存容器或另一处理容器中。如请求项1之方法，其中该液态氯化矽烷之不纯溶液含有选自由AlCl3、SbCl3、InCl、InCl2、GaCl、GaCl2、GaCl3、SnCl2、TlCl、ZnCl2、及ZrCl4组成之第一化合物群之一或多种可移除部分可溶金属氯化物，该等部分可溶金属氯化物实质上可藉由该方法来移除。如请求项2之方法，其中该液态氯化矽烷之不纯溶液亦含有选自由BCl3、TiCl4、及PCl3组成之第二化合物群之一或多种完全可混溶氯化物，该等第二化合物实质上不能藉由该方法来移除。如请求项2之方法，其中该液态氯化矽烷之不纯溶液亦含有选自由PH3、PH4Cl、POCl及PCl5组成之化合物群之一或多种可移除磷化合物，该等可移除磷化合物实质上可藉由与该方法中之铝及其他氯化物结合来移除。如请求项1之方法，其中该搅拌器系具有防漏密封之机械搅拌器。如请求项1之方法，其中该固体移除容器系液体旋风分离器。如请求项1之方法，其中该废物储存容器系具有至少一个蒸气排放口及至少一个固体排放口之加热容器。如请求项1之方法，其中重复实施一或多个该等处理步骤。如请求项1之方法，其进一步包括藉由提高该具有降低固体含量液态溶液的第二物流之温度使该等固体溶解于该物流中的步骤。如请求项1之方法，其中在混合步骤中藉由降低温度来降低该液态氯化矽烷的不纯溶液中的该等氯化铝及其他部分可溶金属氯化物的溶解度。如请求项1之方法，其中在混合步骤中藉由蒸发该等氯化矽烷来降低该液态氯化矽烷的不纯溶液中的该等氯化铝及其他部分可溶金属氯化物的溶解度。 |
