| 主权项 |
一种腐蚀性气体纯化器模组，包含自动入口阀、手动入口阀、纯化器、自动出口阀、手动出口阀，以及一旁路阀；其中该手动入口阀与手动出口阀分别接续于该纯化器之入口管路及出口管路，而一气体入口端与手动入口阀间设置该自动入口阀；一气体出口端与手动出口阀之间设置该自动出口阀；该气体入口端及出口端又跨接一旁路，并于旁路设置一旁路阀；本腐蚀性气体纯化器模组正常供气时，自动入口阀与自动出口阀由一控制端开启且关闭旁路阀，而手动入口阀及手动出口阀为开启状态；腐蚀性气体即由入口端进入并透过纯化器吸附水气杂质后由出口端送往后端设备使用；当入口端之气体供应需维修时或更换钢瓶时，该自动入口阀与自动出口阀及旁路阀可由控制端关闭；此时手动入口阀及手动出口阀以可由人为关闭确保若自动入口阀发生泄漏时外界空气仍可被手动入口阀挡住不会进入纯化器导致纯化器寿命缩短，同样也不会令纯化器内之腐蚀性气体外漏引起安全之问题。如申请专利范围第1项所述之腐蚀性气体纯化器模组，其中该自动入口阀与前后端管路连接使用VCR接头，使维修更换时更为方便快速。 |
