| 主权项 |
一种运送检查装置，包括：具有一电极面的一运送装置，该运送装置并控制向该电极面施加的电压且以非接触状态运送一薄形构件；以及在运送中对该薄形构件的缺陷进行检查之一缺陷检查装置；其中，在该电极面的一部分上设置用于透过光线的一光线透过部，且该缺陷检查装置利用该光线透过部而进行设置；该电极面由较该电极面面积小的多数个电极单元平面邻接排列而构成，且该光线透过部系由该些电极单元中欠缺的一缺口部或多数个缺口部而形成。如申请专利范围第1项所述之运送检查装置，其中，该些电极单元包括可使各该电极单元间彼此独立且控制与该薄形构件的间距之一控制机构。如申请专利范围第1~2项中的任一项所述之运送检查装置，其中，该缺陷检查装置为线路感测器照相机或区域感测器照相机。如申请专利范围第1~2项中的任一项所述之运送检查装置，其中，该缺陷检查装置为一区域感测器照相机，该运送装置包括间歇运送该薄形构件的运送机构，在该运送机构停止的状态下，使该区域感测器照相机动作而取入检查所需的图像。如申请专利范围第4项所述之运送检查装置，其中，该缺陷检查装置还具有一照相机移动装置，并可利用该照相机移动装置而使该区域感测器照相机沿与该电极面平行的平面方向，且与运送方向交叉的方向进行移动。如申请专利范围第4项所述之运送检查装置，其中，该区域感测器照相机的聚焦深度，满足该薄板构件的厚度加上该薄板构件在利用静电力被保持的状态下沿厚度方向之振动的范围。一种运送装置，用以控制向一电极面施加的电压，而将一薄形构件以非接触的状态进行运送，包括：在该电极面的一部分上设置用于透过光线的一光线透过部；其中，该电极面由较该电极面面积小的多数个电极单元平面邻接排列而构成，且该光线透过部系由该些电极单元中欠缺的一缺口部或多数个缺口部而形成。如申请专利范围第7项所述之运送装置，其中，该些电极单元包括可使各该电极单元间彼此独立且控制与该薄形构件的间距之控制机构。 |
