| 主权项 |
一种分批形成装置，是藉由组合自各将多数片基板收容成叠层状态之多数载体取出的多数片基板，形成基板之分批，其特征为：具备：基板搬运机构，将被收容在各载体之多数片基板自各个载体取出而予以搬运；基板相互位置关系变更机构，具有藉由上述基板搬运机构搬运多数片基板之基板支撑体，针对藉由上述基板支撑体而被支撑之多数片基板，使基板一片一片相对于其他基板予以移动，依此变更该些多数片基板中之相互的位置关系；和分批形成机构，自藉由上述基板相互位置变更机构变更相互之位置关系，又藉由上述基板搬运机构被搬运之多数片基板形成分批。如申请专利范围第1项所记载之分批形成装置，其中，上述基板搬运机构是在位于该基板搬运机构自上述各载体取出基板之位置，和配设上述分批形成机构之位置之间的搬运路径上移动，上述基板相互位置关系变更机构是被配设置在上述搬运路径之途中。如申请专利范围第1项所记载之分批形成装置，其中，上述基板搬运机构是根据被收容在上述各载体之多数片之基板之收容状态，选择将收容在上述各载体之多数片基板直接性搬运至上述分批形成机构的动作，或是将收容在上述各载体之多数片基板首先搬运至上述基板相互位置关系变更机构，并于变更该些多数片基板之相互的位置关系之后，搬运至上述分批形成机构之动作中之任一方的动作而加以执行。如申请专利范围第1项所记载之分批形成装置，其中，上述基板搬运机构是在多数片基板之搬运中，改变方向使该些多数片基板从延伸于水平方向之状态成为延伸于垂直方向之状态。如申请专利范围第1项所记载之分批形成装置，其中，上述基板搬运机构是将自上述各载体取出之多数片基板，搬运至上述分批形成机构或是上述基板相互位置关系变更机构上的任意基板收容位置。如申请专利范围第1项所记载之分批形成装置，其中，上述基板相互位置关系变更机构是以于藉由上述基板搬运机构被搬运之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将基板填补至该漏缺部份之方式，使基板一片一片相对于其他基板予以移动。如申请专利范围第1项所记载之分批形成装置，其中，上述基板相互位置关系变更机构于藉由上述基板搬运机构自多数载体搬运各个多数片基板之时，是以于自一个载体取出之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将自其他载体取出之基板填补至该漏缺部份的方式，使自其他载体取出之基板一片一片予以移动。一种基板处理系统，其特征为：具备：分批形成装置，藉由组合自各个将多数片基板收容成叠层状态之多数载体所取出的多数片基板，形成基板之分批；和基板处理装置，对藉由上述分批形成装置所形成之基板的分批执行处理，上述分批形成装置具有：基板搬运机构，将被收容在各载体之多数片基板自各个载体取出而予以搬运；基板相互位置关系变更机构，具有藉由上述基板搬运机构搬运多数片基板之基板支撑体，针对藉由上述基板支持体而被支撑之多数片基板，使基板一片一片相对于其他基板予以移动，依此变更该些多数片基板中之相互的位置关系；分批形成机构，自藉由上述基板相互位置变更机构变更相互之位置关系，又藉由上述基板搬运机构被搬运之多数片基板形成分批。如申请专利范围第8项所记载之基板处理系统，其中，上述分批形成装置之上述基板搬运机构是在位于该基板搬运机构自上述各载体取出基板之位置，和配设上述分批形成机构之位置之间的搬运路径上移动，上述基板相互位置关系变更机构是被配设置在上述搬运路径之途中。如申请专利范围第8项所记载之基板处理系统，其中，上述分批形成装置之上述基板搬运机构是根据被收容在上述各载体之多数片之基板之收容状态，选择将收容在上述各载体之多数片基板直接性搬运至上述分批形成机构的动作，或是将收容在上述各载体之多数片基板首先搬运至上述基板相互位置关系变更机构，并于变更该些多数片基板之相互的位置关系之后，搬运至上述分批形成机构之动作中之任一方的动作而加以执行。如申请专利范围第8项所记载之基板处理系统，其中，上述分批形成装置之上述基板搬运机构是在多数片基板之搬运中，改变方向使该些多数片基板从延伸于水平方向之状态成为延伸于垂直方向之状态。如申请专利范围第8项所记载之基板处理系统，其中，上述分批形成装置之上述基板搬运机构是将自上述各载体取出之多数片基板，搬运至上述分批形成机构或是上述基板相互位置关系变更机构上的任意基板收容位置。如申请专利范围第8项所记载之基板处理系统，其中，上述分批形成装置之上述基板相互位置关系变更机构是以于藉由上述基板搬运机构被搬运之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将基板填补至该漏缺部份之方式，使基板一片一片相对于其他基板予以移动。如申请专利范围第8项所记载之基板处理系统，其中，上述分批形成装置之上述基板相互位置关系变更机构于藉由上述基板搬运机构自多数载体搬运各个多数片基板之时，是以于自一个载体取出之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将自其他载体取出之基板填补至该漏缺部份的方式，使自其他载体取出之基板一片一片予以移动。一种分批形成方法，是藉由组合自各将多数片基板收容成叠层状态之多数载体取出的多数片基板，形成基板之分批，其特征为：具备有：将被收容在上述各载体之多数片基板自各个载体取出而予以搬运之工程；具有藉由上述基板搬运机构搬运多数片基板之基板支撑体，针对藉由上述基板支撑体而被支撑之多数片基板，依据在基板相互位置关系变更机构使基板一片一片相对于其他基板予以移动，变更该些多数片基板中之相互的位置关系之工程：将藉由上述基板相互位置关系变更机构变更相互之位置关系的多数片基板，又搬运至分批形成机构之工程；和在上述分批形成机构中，自被搬运的多数片基板形成分批之工程。如申请专利范围第15项所记载之分批形成方法，其中，又具备根据被收容在上述各载体之多数片基板之收容状态，执行是否变更自该些各载体取出的多数片基板之相互位置关系之判断的工程，当判断不变更多数片基板中之相互位置关系时，将自上述各载体取出之多数片基板直接性搬运至上述分批形成机构，自在该分批形成机构被搬运之多数片基板形成分批。如申请专利范围第15项所记载之分批形成方法，其中，又具备在多数片之基板搬运中改变方向使该些多数片基板从延伸于水平方向之状态成为延伸于垂直方向之状态的工程。如申请专利范围第15项所记载之分批形成方法，其中，将自上述各载体所取出之多数片基板，搬运至上述分批形成机构或是上述基板相互位置关系变更机构上的任意基板收容位置。如申请专利范围第15项所记载之分批形成方法，其中，在上述基板相互位置关系变更机构中，以于自上述各载体被取出之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将基板填补至该漏缺部份之方式，使基板一片一片相对于其他基板予以移动。如申请专利范围第15项所记载之分批形成方法，其中，上述基板相互位置关系变更机构中，自上述多数载体搬运各个多数片基板之时，是以于自一个载体取出之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将自其他载体取出之基板填补至该漏缺部份的方式，使自其他载体取出之基板一片一片予以移动。一种分批形成程式，是用以使具有：将被收容在各载体之多数片基板自各个载体取出而予以搬运的基板搬运机构；针对藉由上述基板搬运机构而被搬运之多数片基板，藉由使基板一片一片相对于其他基板予以移动，变更该些多数片基板中之相互的位置关系之基板相互位置关系变更机构；和自藉由上述基板相互位置变更机构变更相互之位置关系，又藉由上述基板搬运机构被搬运之多数片基板形成分批的分批形成机构的分批形成装置，形成基板之分批，其特征为：具备：藉由上述基板搬运机构，将收容在上述各载体之多数片基板自各个载体取出而予以搬运之步骤；具有藉由上述基板搬运机构搬运多数片基板之基板支撑体，针对藉由上述基板支撑体而被支撑之多数片基板，依据在上述基板相互位置关系变更机构中使基板一片一片相对于其他基板予以移动，变更该些多数片基板中之相互的位置关系的步骤；又将藉由上述基板相互位置关系变更机构，变更相互之位置关系的多数片基板，搬运至上述分批形成机构之步骤；和在上述分批形成机构中，自被搬运之多数片基板形成分批之步骤。如申请专利范围第21项所记载之分批形成程式，其中，又具备根据被收容在上述各载体之多数片基板之收容状态，执行是否变更自该些各载体取出的多数片基板之相互位置关系之判断的步骤，当判断不变更多数片基板中之相互位置关系时，将自上述各载体取出之多数片基板直接性搬运至上述分批形成机构，自在该分批形成机构被搬运之多数片基板形成分批之步骤。如申请专利范围第21项所记载之分批形成程式，其中，又具备在多数片基板之搬运中，改变方向使该些多数片基板从延伸于水平方向之状态成为延伸于垂直方向之状态的步骤。如申请专利范围第21项所记载之分批形成程式，其中，将自上述各载体取出之多数片基板，搬运至上述分批形成机构或是上述基板相互位置关系变更机构上的任意基板收容位置。如申请专利范围第21项所记载之分批形成程式，其中，在上述基板相互位置关系变更机构中，以于自上述各载体所取出之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将基板填补至该漏缺部份之方式，使基板一片一片相对于其他基板予以移动。如申请专利范围第21项所记载之分批形成程式，其中，在上述基板相互位置关系变更机构中，自上述多数载体搬运各个多数片基板之时，是以于自一个载体取出之多数片基板中，各基板不连续性被重叠，部份性发生基板漏缺时，将自其他载体取出之基板填补至该漏缺部份的方式，使自其他载体取出之基板一片一片予以移动。 |
