SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT,申请号KR20117005081-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT
摘要
申请公布号	KR20110036862(A)	申请公布日期	2011.04.11
申请号	KR20117005081	申请日期	2009.09.15
申请人	SUMCO CORPORATION	发明人	YOSHIDA ETSURO
分类号	H01L21/677;H01L21/02	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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