STRUCTURE D'ACTIONNEMENT PIEZOELECTRIQUE COMPORTANT UNE JAUGE DE CONTRAINTE PIEZORESISTIVE INTEGREE ET SON PROCEDE DE REALISATION

摘要

L'invention concerne une structure d'actionnement piézoélectrique comportant au moins une jauge de contraintes et au moins un actionneur réalisé à partir d'un empilement à la surface d'un support d'au moins une couche de matériau piézoélectrique (42) disposée entre une couche d'électrode inférieure (43) et une couche d'électrode supérieure (44), au moins une partie de l'empilement formant l'actionneur étant disposé au dessus d'une cavité réalisée dans le support caractérisée en ce que la jauge de contrainte est une jauge piézorésistive située dans la couche d'électrode supérieure et/ou la couche d'électrode inférieure (44j, 43/44j), la ou lesdites couches comportant des discontinuités d'électrodes permettant la réalisation de ladite jauge piézorésistive. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une telle structure.