PROCEDE DE FABRICATION D'OSCILLATEURS MONOLITHIQUES A RESONATEURS BAW

摘要

L'invention concerne un procédé d'ajustement à la fabrication d'un oscillateur monolithique (41) comportant des éléments de circuit (23) et un résonateur BAW (25), ce procédé comportant les étapes suivantes : a) réaliser les éléments de circuit (23) et le résonateur (25) et les connecter électriquement ; b) recouvrir le résonateur (25) d'une couche d'ajustement de fréquence (9) ; c) mesurer la fréquence de sortie de l'oscillateur ; d) modifier l'épaisseur de la couche d'ajustement de fréquence (9) de façon à modifier la fréquence de sortie de l'oscillateur.