摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif de détection de variations de température du substrat d'une puce de circuit intégré, comportant, dans le substrat, des résistances implantées (41, 43, 45, 47) reliées en un pont de Wheatstone, dans lequel chacune de deux premières résistances (45, 47) opposées du pont est recouverte d'un réseau de lignes métalliques parallèles à une première direction, la première direction étant telle qu'une variation des contraintes du substrat selon cette direction entraine une variation de la valeur de déséquilibre (V ) du pont.</p> |