发明名称 Laserbestrahlungsgerät
摘要
申请公布号 DE60045653(D1) 申请公布日期 2011.04.07
申请号 DE20006045653 申请日期 2000.08.11
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO. LTD. 发明人 TANAKA, KOICHIRO
分类号 B23K26/06;H01L21/02;B23K26/067;B23K26/073;B23K101/40;H01L21/20;H01L21/268 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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