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经营范围
发明名称
Laserbestrahlungsgerät
摘要
申请公布号
DE60045653(D1)
申请公布日期
2011.04.07
申请号
DE20006045653
申请日期
2000.08.11
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO. LTD.
发明人
TANAKA, KOICHIRO
分类号
B23K26/06;H01L21/02;B23K26/067;B23K26/073;B23K101/40;H01L21/20;H01L21/268
主分类号
B23K26/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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