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Vorrichtung (1) zum Transport von Wafern, umfassend eine Transport-Einrichtung (2) zum Transport von Wafern (3) in einer Transport-Richtung (4), wobei die Transport-Einrichtung (2) mit Abstützungen (7) zum Abstützen der zu transportierenden Wafer (3) versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungen (7) jeweils mindestens ein Auflage-Element (8) zum Schutz der Wafer (3) aufweisen.
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