| 发明名称 |
Festgeklemmte monolithische Gasverteilungselektrode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE202010012763(U1) |
申请公布日期 |
2011.04.07 |
| 申请号 |
DE201020012763U |
申请日期 |
2010.09.20 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP.(N.D.GES.D.STAATES DELAWARE), FREMONT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/34 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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