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发明名称
IMMERSIONSSTRÖMUNGSFELD-INSTANDHALTUNGSSYSTEM FÜR EINE IMMERSIONSLITHOGRAPHIEMASCHINE
摘要
申请公布号
DE602006020352(D1)
申请公布日期
2011.04.07
申请号
DE200660020352T
申请日期
2006.12.25
申请人
SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO. LTD.
发明人
YANG, ZHIYONG
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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