发明名称 IMMERSIONSSTRÖMUNGSFELD-INSTANDHALTUNGSSYSTEM FÜR EINE IMMERSIONSLITHOGRAPHIEMASCHINE
摘要
申请公布号 DE602006020352(D1) 申请公布日期 2011.04.07
申请号 DE200660020352T 申请日期 2006.12.25
申请人 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO. LTD. 发明人 YANG, ZHIYONG
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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