| 发明名称 | 基板载置台的降温方法、计算机可读取的存储介质和基板处理系统 | ||
| 摘要 | 基板载置台的降温方法使用基板(W)处理系统，该系统包括：第一基板载置台(2b)；一个以上的处理室(1b)，其在内部设置有第一基板载置台(2b)，在第一基板载置台(2b)上载置有基板(W)的状态下进行规定的处理；向处理室(1b)搬送基板(W)的基板搬送装置(31)；在内部设置有基板搬送装置(31)的搬送室；和用于冷却基板(W)的第二基板载置台(6a)。基板载置台的降温方法包括：利用基板搬送装置(31)将载置在第一基板载置台(2b)上的基板(W)向第二基板载置台(6a)搬送的第一移载工序；和利用基板搬送装置(31)将载置在第二基板载置台(6a)上的基板(W)向第一基板载置台(2b)搬送的第二移载工序。通过反复进行第一移载工序和第二移载工序，利用载置在第一基板载置台(2b)上的基板(W)吸收第一基板载置台(2b)的热，由此使第一基板载置台(2b)降温。 | ||
| 申请公布号 | CN102007588A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN200980113330.9 | 申请日期 | 2009.09.14 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 小林贤一;仲山阳一;甲斐亘三;白坂贤治 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李伟;舒艳君 |
| 主权项 | 一种基板载置台的降温方法，其使用具有如下构成的基板处理系统，该基板处理系统包括：设有用于加热基板的加热机构的第一基板载置台；一个以上的处理室，其在内部设置有该第一基板载置台，在该第一基板载置台上载置有该基板的状态下进行规定的处理；向该处理室搬送该基板的基板搬送装置；在内部设置该基板搬送装置的搬送室；和用于冷却该基板的第二基板载置台，所述基板载置台的降温方法的特征在于，包括：利用所述基板搬送装置将载置在所述第一基板载置台上的所述基板向所述第二基板载置台搬送的第一移载工序；和利用所述基板搬送装置将载置在所述第二基板载置台上的所述基板向所述第一基板载置台搬送的第二移载工序，通过反复进行所述第一移载工序和所述第二移载工序，利用载置在所述第一基板载置台上的所述基板吸收该第一基板载置台的热，使该第一基板载置台降温。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||