| 发明名称 | 涂敷的和平面化的聚合物膜 | ||
| 摘要 | 一种复合膜，包括聚合物衬底和平面化涂敷层，其中所述平面化衬底的表面呈现出小于0.7nm的Ra值和/或小于0.9nm的Rq值，并且其中所述复合膜进一步包括通过原子层沉积在衬底的平面化表面上沉积的气体透过阻挡层；包括所述复合膜的电子器件；以及用于生产该复合膜的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102007173A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN200980113580.2 | 申请日期 | 2009.04.17 |
| 申请人 | 杜邦帝人薄膜美国有限公司 | 发明人 | 雷蒙德·阿达姆;罗伯特·W·伊夫森;威廉·A·麦克唐纳 |
| 分类号 | C08J7/18(2006.01)I;B29C55/04(2006.01)I;C08J5/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01K3/00(2006.01)I | 主分类号 | C08J7/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 李丙林;张英 |
| 主权项 | 一种复合膜，包括聚合物衬底和平面化涂敷层，其中，所述平面化衬底的表面呈现出小于0.7nm的Ra值和/或小于0.9nm的Rq值，并且其中所述复合膜进一步包括通过原子层沉积在所述衬底的平面化表面上沉积的气体透过阻挡层。 | ||
| 地址 | 美国弗吉尼亚州 | ||