一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法

摘要

本发明涉及合金材料领域，具体涉及一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法。包括：将超高纯铝铸锭进行500～630℃高温均匀化退火，消除铸造内应力，细化铸态组织；在150℃～300℃对超高纯铝铸锭进行多道次多向锻造，在不改变铸锭形状的前提下获得大应变，细化超高纯铝晶粒；将多向锻造后工件置于冰水中冷却到0℃～5℃后进行冷轧，道次压下量控制在5%～30%，通过对板材进行道次间冰水冷却控制板材轧制过程的温升，抑制板材的再结晶。最后进行50℃～250℃的低温退火。采用此方法可以生产厚度为5mm～25mm，平均晶粒尺寸£200um，晶粒取向以（200）方向为主的靶材，且该靶材在200℃工作时组织稳定。

主权项

一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：首先将通过铸造得到的纯度大于99.9995wt%的超高纯铝铸锭，在500～630℃条件下进行退火处理，退火时间2～18小时，退火后空冷到室温；然后将退火处理后的超高纯铝铸锭加热到150～300℃，保温3小时后，置于压力机砧头上，先经过两道次锻造将铸锭锻成长方体工件，其中X为工件的长边，Y为工件的宽边，Z为工件的高边，再进行12～18道次的多向锻造，形成高纯铝工件；随后将锻后工件放入冰水中冷却至0℃～5℃后进行冷轧，每完成1道次轧制后将工件放入冰水中冷却至0℃～5℃，再进行下一道次轧制和冷却，道次压下量控制在5～30%，总变形量在70%以上，得到超高纯铝靶材；最后在温度50～250℃条件下对超高纯铝靶材进行再结晶退火，退火时间30～240分钟，获得超高纯铝细晶、高取向靶材。