一种有源矩阵有机发光显示器阵列基板的制造方法

摘要

本发明涉及一种有源矩阵有机发光显示器阵列基板的制造方法，尤其涉及一种低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板的制造方法。本发明技术方案通过在制备薄膜晶体管过程中设置籽晶凹槽以提高非晶硅晶化效果，从而获得具有良好一致性的薄膜晶体管，以实现有源矩阵有机发光显示器整体性能的提高。

主权项

一种有源矩阵有机发光显示器阵列基板的制造方法，所述有源矩阵有机发光显示器阵列基板包括：一玻璃基板；以及配置在该玻璃基板上的多个像素，呈矩阵排列；多条数据线，平行配置于像素之间；多条扫描线，平行配置于像素之间且与数据线垂直；所述像素的像素区域内具有一开关区域和一驱动区域，所述开关区域内具有开关薄膜晶体管，所述驱动区域内具有驱动薄膜晶体管；所述有源矩阵有机发光显示器阵列基板的制造方法包括：在玻璃基板上形成一缓冲层，在缓冲层上形成一非晶硅层，其特征在于，在所述玻璃基板、缓冲层和非晶硅层中的至少一层上设置若干籽晶凹槽。