| 主权项 |
一种用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置，包括在投影透镜组(1)和衬底(3)之间设置的液体柔性密封和自适应回收装置(2)；其特征在于：所述的液体柔性密封和自适应回收装置包括浸没单元上端盖(2E)、浸没单元腔体(2D)、浸没单元工作头(2C)和至少一片随动盘片组成；其中：1)浸没单元上端盖(2E)：开有提供注液腔(5A)、回收腔(6A)、第一、第二注气压力缓冲腔(7A、8A)各自对外连接通道管路；2)浸没单元腔体(2D)：由中心孔向外依次开有互不连通的腔体，即分别开有阶梯形的注液腔(5A)、回收腔(6A)和相间分布的第一、第二注气压力缓冲腔(7A、8A)，四个腔体分别垂直向上通过浸没单元上端盖(2E)的对应通道与外界供水供气系统连接；3)浸没单元工作头(2C)：提供浸没单元腔体(2D)中注液腔(5A)、回收腔(6A)和第一、第二注气压力缓冲腔(7A、8A)四个腔体与衬底上表面工作空间的连接通道以及液体回收通道；由中心孔向外依次开有互不连通的孔阵列通道，分别是开有与注液腔(5A)个数相对应的注液孔阵列(5B)，环形的回收槽(10)，与回收腔(6A)面积相对应的上表面向内倾斜的回收孔阵列(6B)，与回收槽(10)相连通的由内通向浸没单元工作头(2C)外侧的回收通道(11)，相间分布的与第二注气压力缓冲腔(8A)相对应的第二注气孔阵列(8B)，与第一注气压力缓冲腔(7A)相对应的第一和第三注气孔阵列(7B、7C)，浸没单元工作头(2C)下表面径向开有滚动导轨安装槽(13)和与第一和第三注气孔阵列(7B、7C)相连通的垂直随动盘片外侧的环形导向槽(9)；第一，由在同一半径上均匀分布通孔组成注液孔阵列(5B)，孔垂直于浸没单元工作面，注液孔阵列(5B)上方与注液腔(5A)相通；第二，由在不同半径上均匀分布通孔组成回收孔阵列(6B)，孔垂直于浸没单元工作面，回收孔阵列(6B)的上端面从外向内倾斜并进行憎水处理，与注液腔(6A)相通；第三，液体回收槽(10)是分布在回收孔阵列内侧注液孔阵列外侧之间的环形连续槽，四周有回收通道(11)与回收槽(10)相连，回收槽(10)边缘低于回收孔阵列(6B)上端面的内侧边缘；第四，由在不同半径上均匀分布通孔组成第一、第三注气孔阵列(7B、7C)， 孔的方向垂直于浸没单元工作面，注气孔阵列(8B)下表面与导向槽(9)相通，该导向槽(9)与浸没单元工作面呈45°角，注气孔阵列(7B、7C)上表面与第一注气压力缓冲腔(7A)相通；第五，由在不同半径上均匀分布通孔组成第二注气孔阵列(8B)，孔的方向垂直于浸没单元工作面，注气孔阵列(8B)下表面与导向槽(9)相通，该导向槽(9)与浸没单元工作面呈45°角，注气孔阵列(8B)上表面与第二注气压力缓冲腔(8A)相通；4)随动盘片：为环状片，上表面为平面，进行过憎水处理的下表面向外向下倾斜，外边缘向内弯曲，外边缘外侧与水平面呈135°，通过安装在滚动导轨安装槽(13)内的滚动导轨与浸没单元工作头(2C)相连。 |
