压电振动器的制造方法、固定夹具、以及压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明的压电振动器，其中包括：基底基板；盖基板，其形成有空腔用的凹部，以使该凹部与基底基板对置的状态下接合至基底基板；压电振动片，在收纳于利用凹部在基底基板与盖基板之间形成的空腔内的状态下，接合至基底基板的上表面；外部电极，其形成在基底基板的下表面；贯通电极，其以贯通基底基板的方式形成，维持空腔内的气密，并且对外部电极电连接；以及迂回电极，其形成在基底基板的上表面，并对所接合的压电振动片电连接贯通电极，贯通电极由筒体和导电性的芯材部形成，该筒体用玻璃材料形成为两端平坦且厚度与基底基板大致相同的筒状，埋入于贯通基底基板的贯通孔内；该芯材部形成为两端平坦且厚度与基底基板大致相同，插入至筒体的中心孔，通过烧结，贯通孔、筒体、和芯材部固定成一体。

主权项

一种压电振动器的制造方法，利用基底基板用圆片和盖基板用圆片而一次性制造多个在互相接合的基底基板与盖基板之间形成的空腔内密封了压电振动片的压电振动器，其特征在于，包括：凹部形成工序，在所述盖基板用圆片形成多个在叠合了两圆片时形成所述空腔的空腔用的凹部；贯通电极形成工序，利用具有平板状的基座部和从所述基座部上沿着与所述基座部的表面大致正交的方向延伸的芯材部的导电性的铆钉体，在所述基底基板用圆片形成多个贯通所述圆片的贯通电极；迂回电极形成工序，在所述基底基板用圆片的上表面形成多个对于所述贯通电极电连接的迂回电极；装配工序，通过所述迂回电极将多个所述压电振动片接合到所述基底基板用圆片的上表面；叠合工序，叠合所述基底基板用圆片与所述盖基板用圆片，在由所述凹部和两圆片包围的所述空腔内收纳压电振动片；接合工序，接合所述基底基板用圆片和所述盖基板用圆片，使所述压电振动片密封于所述空腔内；外部电极形成工序，在所述基底基板用圆片的下表面形成多个与所述贯通电极电连接的外部电极；以及切断工序，切断已接合的所述两圆片，小片化为多个所述压电振动器，所述贯通电极形成工序具有：贯通孔形成工序，在所述基底基板用圆片形成多个贯通所述圆片的贯通孔；设置工序，将所述铆钉体的芯材部插入这些多个贯通孔内，直至使所述基座部与所述基底基板用圆片接触，并且在所述芯材部与所述贯通孔之间配置由玻璃材料构成的连接材料；烧结工序，在既定温度下烧结所述连接材料，使所述贯通孔、所述连接材料、和所述铆钉体固定成一体；以及研磨工序，在烧结后，至少对所述基底基板用圆片的上下表面之中配置有所述基座部的面进行研磨，除去所述基座部并使所述芯材部露出于所述基底基板用圆片的上下两表面。