| 发明名称 | 金属元件的表面处理方法及清洁喷嘴 | ||
| 摘要 | 根据本发明的实施方式的金属元件的表面处理方法包含通过使用在常压下沸腾加热加压的水而获得的气-液双流体从金属元件上除去油性物质。用于除去金属元件上的油性物质的金属元件的表面处理设备包括：通过在常压下沸腾加热加压的水而生成气-液双流体的自生成的双流体的产生装置，以及通过使自生成的双流体与金属元件接触而实施表面处理的表面处理室。 | ||
| 申请公布号 | CN102000676A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN201010268609.9 | 申请日期 | 2010.08.30 |
| 申请人 | 日立电线株式会社 | 发明人 | 佐伯智则;安藤好幸 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I;B05B7/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 一种金属元件的表面处理方法，其包含：用通过在常压下沸腾加热加压的水而获得的气‑液双流体除去金属元件上的油性物质。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||