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发明名称 GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT BEAM PARAMETER CONTROL
摘要
申请公布号 EP1867014(A4) 申请公布日期 2011.04.06
申请号 EP20060748813 申请日期 2006.03.27
申请人 CYMER, INC. 发明人 BESAUCELE, HERVE, A.;FOMENKOV, IGOR, V.;PARTLO, WILLIAM, N.;TRINTICHOUK, FEDOR;TON-THAT, HAO
分类号 H01S3/036;H01S3/038;H01S3/097;H01S3/134 主分类号 H01S3/036
代理机构 代理人
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