真空阀

摘要

真空阀包括阀套，该阀套具有进口孔和出口孔(3)和包围进口孔(2)的阀座(6)，真空阀还包括闭锁单元(8)，闭锁单元(8)包括阀门板(9)，阀门板(9)在打开位置、盖住进口孔(2)但是从阀座(6)抬起的中间位置和盖住进口孔(2)并顶到阀座(6)上的关闭位置之间是可调节的，闭锁元件还包括调节活塞(15)。闭锁单元(8)的工作室(23)受到薄膜密封装置(25)的限定。为了将调节活塞(15)移动到有效位置可给工作室(23)提供压缩气体。在调节活塞(15)上设置从闭锁单元(8)的内腔(16)中通过孔引出的顶杆。当调节活塞(15)从无效位置移动到有效位置时该顶杆直接或者间接地支撑在阀套(1)的出口孔(3)附近区域中。

主权项

真空阀，它包括阀套(1)，该阀套具有进口孔(2)和出口孔(3)，这两个孔穿过阀套(1)的对置的壁(4，5)，阀套还具有包围进口孔(2)的阀座(6)，真空阀还包括设置在阀套(1)的内腔(7)中的闭锁单元(8)，所述闭锁单元(8)包括阀门板(9)，该阀门板(9)在释放进口孔(2)的打开位置、盖住进口孔(2)但是从阀座(6)抬起的中间位置和盖住进口孔(2)并顶到阀座(6)上的关闭位置之间是可调节的，闭锁单元(8)还包括至少一个设置在闭锁单元(8)的内腔(16)中的调节活塞(15)，为了在中间位置和关闭位置之间调节阀门板(9)，该调节活塞能够沿着调节活塞的纵向中间轴线(20)方向在阀门板(9)在所述中间位置时所处于的无效位置和阀门板(9)在所述关闭位置时所处于的有效位置之间是可移动的，其中，闭锁单元(8)的至少一个工作室(23)受到一个薄膜密封装置(25)的限定，通过给所述工作室提供压缩气体，就能够将至少一个调节活塞(15)移动到所述有效位置，其特征在于，至少一个顶杆(18)设置在调节活塞(15)的面向出口孔(3)一侧上，该顶杆从闭锁单元(8)的内腔(16)穿过孔引出，并且为了将阀门板(9)压向阀门座(6)，在将调节活塞(15)从所述无效位置移动到所述有效位置时，所述顶杆直接地或者间接地支撑在阀套(1)的出口孔(3)附近区域中。