一种快速热处理炉用的晶片盒定位支撑台

摘要

本发明公开了一种晶片盒的定位支撑台，涉及快速热处理炉，属于半导体制造领域。该结构包括：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连杆，一个固定支架台，一与压簧和压杆连动的微型行程开关。所述的片盒架，用于支撑晶片盒，由螺钉与固定支架台连接；所述的拉簧助力的转动钩型连杆用于钩住固定晶片盒；所述的固定支架台用于整个片盒架的固定，以及将整个片盒架台固定在晶片传输系统中，让机械手取送晶片到晶片盒内的准确位置，晶片盒在定位支撑台上时，下压弹簧压杆，行程开关闭合，检测电路指示灯亮。

主权项

一种晶片盒的定位支撑台，其特征在于：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连块，一压簧和压杆与微型行程开关。