| 发明名称 | 化学气相沉积设备及其冷却箱 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种化学气相沉积设备及其冷却箱。化学气相沉积设备包括：反应腔室；至少一清洁气体通道，连接于所述反应腔室与远程等离子源之间；以及防氟化材料层，形成于所述清洁气体通道内。此清洁气体通道可形成于冷却箱的箱体内。本发明可确保反应腔室内的洁净度。 | ||
| 申请公布号 | CN102002686A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN201010530714.5 | 申请日期 | 2010.11.02 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 贺成明;洪峻铭 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人 | 欧阳启明 |
| 主权项 | 一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述化学气相沉积设备包括：反应腔室；至少一清洁气体通道，连接于所述反应腔室与远程等离子源之间；以及防氟化材料层，形成于所述清洁气体通道内。 | ||
| 地址 | 518057 广东省深圳市南山区高新南一路TCL大厦A座7F | ||