一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法

摘要

一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法，属于光电工程技术领域，用于激光跟踪仪在测量过程中受环境因素影响的补偿，其步骤为：(1)从激光跟踪仪内置双频激光器的出射双频激光中分光出补偿用激光；(2)将补偿用激光投射至被测件上并由角锥棱镜反射形成补偿光路；(3)在补偿光路中加入干涉元器件，使补偿光路具备双频激光干涉测距功能；(4)在补偿光路中加入分光及PSD(位置敏感探测器)元器件，使补偿光路具备PSD位移测量功能；(5)使用双频激光干涉测距数据及PSD位移测量数据对激光跟踪仪测量结果实时补偿。本发明可以解决激光跟踪仪在大尺寸、高精度在线测量中受环境因素而产生测量精度下降的问题，同时结构简单，易于实现。

主权项

一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法，其特征在于实现步骤如下：第一步，从激光跟踪仪内置双频激光器的出射双频激光中分光出补偿用激光；第二步，将补偿用激光投射至被测件上并由角锥棱镜反射形成补偿光路；第三步，在补偿光路中加入干涉元器件，使补偿光路具备双频激光干涉测距功能；第四步，在补偿光路中加入分光器件及位置敏感探测器(PSD)，使补偿光路具备PSD位移测量功能；第五步，使用双频激光干涉测距数据及PSD位移测量数据对激光跟踪仪测量结果补偿。