| 发明名称 | 树脂，抗蚀剂组合物和用于制造抗蚀剂图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种树脂，所述树脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元，其中R<sup>1</sup>表示氢原子，卤素原子或任选具有一个或多个卤素原子的C<sub>1</sub>至C<sub>6</sub>烷基；X<sup>1</sup>表示C<sub>2</sub>至C<sub>36</sub>杂环基，包含在所述杂环基中的一个或多个氢原子可以被卤素原子，羟基，C<sub>1</sub>至C<sub>24</sub>烃，C<sub>1</sub>至C<sub>12</sub>烷氧基，C<sub>2</sub>至C<sub>4</sub>酰基，C<sub>2</sub>至C<sub>4</sub>酰氧基代替，并且包含在所述杂环基中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-CO-或-O-代替。<img file="201010269819.x_ab_0.GIF" wi="167" he="174" /> | ||
| 申请公布号 | CN102002121A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
| 申请号 | CN201010269819.X | 申请日期 | 2010.08.31 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;釜渊明;向井优一 |
| 分类号 | C08F20/52(2006.01)I;C08F220/32(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F220/52(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | C08F20/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 柳春琦 |
| 主权项 | 1.一种树脂，所述树脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元；<img file="FSA00000254039900011.GIF" wi="373" he="404" />其中R<sup>1</sup>表示氢原子，卤素原子或任选具有一个或多个卤素原子的C<sub>1</sub>至C<sub>6</sub>烷基；X<sup>1</sup>表示C<sub>2</sub>至C<sub>36</sub>杂环基，包含在所述杂环基中的一个或多个氢原子可以被卤素原子，羟基，C<sub>1</sub>至C<sub>24</sub>烃基，C<sub>1</sub>至C<sub>12</sub>烷氧基，C<sub>2</sub>至C<sub>4</sub>酰基或C<sub>2</sub>至C<sub>4</sub>酰氧基代替，并且包含在所述杂环基中的一个或多个-CH<sub>2</sub>-可以被-CO-或-O-代替。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||