多轴传感器单元及使用它的多轴传感器

摘要

本发明在降低功耗的同时，可以简化布线并降低成本。测量从外部施加的多个轴上的力、力矩、加速度和角加速度中的任何一个或多个参数的多轴传感器单元10包括配置在一个平面上的8个应变计R11～R24和连接各应变计R11～R24形成的1个桥式电路11。因此，与过去相比，减少了桥式电路11和应变计R11～R24，在降低功耗的同时，简化了布线并降低了成本。

主权项

一种多轴传感器单元，测量从外部施加的2个或更多轴上的力、力矩、加速度和角加速度中的任何一个或多个，其特征在于，具备：配置在一个平面上的8个应变计；连接各应变计形成的1个桥式电路；以及具备设在中央的受力部和设在外围的固定部及连接它们的圆环状的隔膜的应变体，上述应变计的配置位置是以上述隔膜的中心线为Z轴，在X轴上的正方向的隔膜的外缘部和内缘部的2个地方(R11、R12)、X轴上的负方向的隔膜的外缘部和内缘部的2个地方(R13、R14)、Y轴上的正方向的隔膜的外缘部和内缘部的2个地方(R23、R24)、以及Y轴上的负方向的隔膜的外缘部和内缘部的2个地方(R21、R22)，上述桥式电路(11)由以下4个应变计组构成，上述4个应变计组为：连接了在X轴上的正方向配置的2个应变计(R11、R12)的第1应变计组；连接了在X轴上的负方向配置的2个应变计(R13、R14)的第2应变计组；连接了在Y轴上的正方向配置的2个应变计(R23、R24)的第3应变计组；以及连接了在Y轴上的负方向配置的2个应变计(R21、R22)的第4应变计组，从上述第1应变计组的2个应变计的接点(a)的电压(Va)和上述第2应变计组的2个应变计的接点(b)的电压(Vb)，输出关于X轴方向的第1输出(Vx)，从上述第3应变计组的2个应变计的接点(c)的电压(Vc)和上述第4应变计组的2个应变计的接点(d)的电压(Vd)，输出关于Y轴方向的第2输出(Vy)，从上述第1应变计组的2个应变计的接点(a)的电压(Va)、上述第2应变计组的2个应变计的接点(b)的电压(Vb)、上述第3应变计组的2个应变计的接点(c)的电压(Vc)、以及上述第4应变计组的2个应变计的接点(d)的电压(Vd)，输出关于Z轴方向的第3输出(Vz)。